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索尼位移传感器DK805SBFR5产品说明：1、测量范围：5mm2、分辨率：0.1μm，0.5μm3、精度：1μmpp至1.7μmpp（取决于型号）
索尼位移传感器DK805SBR5产品说明：1、测量范围：5mm2、分辨率：0.1μm，0.5μm3、精度：1μmpp至1.7μmpp（取决于型号）
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索尼位移传感器DK812SAFLR产品说明：1、测量范围：12mm2、分辨率：0.1μm，0.5μm3、精度：1μmpp至1.7μmpp（取决于型号）
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